Chuyên nghiệp Stylus Surface Profiler

Máy định hình bề mặt bút cảm ứng chuyên nghiệp là một công cụ đo lường có độ chính xác cao được thiết kế để phân tích độ nhám bề mặt và biên dạng chính xác của các thành phần công nghiệp. Professional Stylus Surface Profiler sử dụng cảm biến bút stylus kim cương để theo dõi các biến thể bề mặt vi mô với độ phân giải vượt trội, chuyển đổi kết cấu bề mặt vật lý thành dữ liệu kỹ thuật số chính xác. Professional Stylus Surface Profiler lý tưởng cho các ứng dụng yêu cầu đánh giá chất lượng bề mặt nghiêm ngặt và độ chính xác đo lặp lại trong môi trường sản xuất hiện đại.

  • Đo lường: Công nghệ định hình đầu dò
  • Cảm biến đầu dò: Cảm biến quán tính thấp (LIS3)
  • Áp suất thăm dò: Sử dụng cảm biến LIS3: 1 đến 15mg
  • Chế độ xem mẫu: Độ phóng đại có thể lựa chọn, FOV từ 1 đến 4mm

Mô tả Sản phẩm

Professional Stylus Surface Profiler tích hợp công nghệ đo lường tiên tiến với nền tảng ổn định và thân thiện với người dùng, mang lại đặc tính bề mặt chính xác cho các phòng thí nghiệm và môi trường sản xuất hiện đại. Nó cung cấp độ chính xác tuyệt vời, độ lặp lại đáng tin cậy và hoạt động hiệu quả, làm cho nó phù hợp cho cả các ứng dụng nghiên cứu và kiểm soát chất lượng công nghiệp.

Được thiết kế để phân tích bề mặt có độ phân giải cao, hệ thống này hỗ trợ đo độ nhám nano, chiều cao bước và địa hình 3D. Nó được sử dụng rộng rãi trong vi điện tử, chất bán dẫn, sản xuất màn hình, năng lượng mặt trời, thiết bị y tế và nghiên cứu vật liệu tiên tiến, giúp người dùng đạt được khả năng kiểm soát quy trình vượt trội từ R & D đến kiểm tra cuối cùng.

Professional Stylus Surface Profiler – Chiều cao bước cấp nanomet & Đo độ nhám bề mặt

Professional Stylus Surface Profiler là một hệ thống đo tiếp xúc có độ chính xác cao được thiết kế để phân tích chính xác chiều cao bậc, độ nhám bề mặt và địa hình bề mặt 3D. Sử dụng bút cảm ứng kim cương nhẹ nhàng theo dõi bề mặt mẫu, nó ghi lại các biến thể bề mặt nhỏ với độ phân giải và độ ổn định vượt trội. Điều này đảm bảo kết quả đo có độ tin cậy cao và có thể lặp lại cho các ứng dụng công nghiệp và phòng thí nghiệm đòi hỏi khắt khe.

Cách thức hoạt động

Hệ thống hoạt động dựa trên phương pháp đo kiểu tiếp xúc. Khi bút cảm ứng di chuyển dọc theo bề mặt, sự dịch chuyển theo chiều dọc của nó phản ánh các đường viền bề mặt. Chuyển động này được ghi lại dưới dạng tín hiệu điện thông qua cầu đo, tạo ra đầu ra điều chế biên độ tỷ lệ thuận với độ dịch chuyển thẳng đứng. Tín hiệu sau đó được khuếch đại, xử lý thông qua chỉnh lưu nhạy pha và được lọc để loại bỏ nhiễu và gợn sóng. Điều này đảm bảo rằng đầu ra cuối cùng là tín hiệu sạch và ổn định, cung cấp các phép đo chiều cao và độ nhám chính xác không bị nhiễu và gợn sóng bên ngoài.

Các ứng dụng chính

  • Đo lường wafer bán dẫn: Đo lường và phân tích chính xác các tấm bán dẫn để đảm bảo chế tạo chất lượng cao.
  • MEMS và cấu trúc vi mô: Lập hồ sơ chính xác của MEMS (Hệ thống cơ điện vi mô) và cấu trúc vi mô để đo bề mặt chi tiết.
  • Màng mỏng và độ dày lớp phủ: Đánh giá độ dày và độ đồng nhất của màng mỏng và lớp phủ, rất quan trọng đối với các quy trình sản xuất khác nhau.
  • Hồ sơ bề mặt pin mặt trời: Các phép đo bề mặt chính xác cho pin mặt trời, tối ưu hóa hiệu suất và chất lượng sản xuất.
  • Quang học chính xác và thiết bị y tế: Đo lường quang học chính xác và thiết bị y tế để duy trì các tiêu chuẩn cao về chất lượng và hiệu suất.

Các tính năng chính

  • Hiệu suất ổn định: Đảm bảo hoạt động nhất quán với đường truyền nhanh, hiệu chuẩn tự động và đo lường chính xác.
  • Thiết kế máy tính để bàn mang tính cách mạng: Đạt được sự cân bằng giữa hiệu suất cao, dễ sử dụng và tiết kiệm chi phí trong thiết lập để bàn nhỏ gọn.
  • Thiết kế nhỏ gọn và đáng tin cậy: Cấu hình phần cứng được tối ưu hóa đảm bảo độ chính xác, độ ổn định và hiệu quả kiểm tra cao.
  • Vật liệu cao cấp và độ bền: Được chế tạo bằng vật liệu chất lượng cao để đảm bảo độ bền, tuổi thọ lâu dài và hiệu suất hiệu quả.

Tính năng thiết bị

  • Hiệu suất vô song: Khả năng tái tạo chiều cao bước dưới 4A, với khả năng quét nâng cao.
  • Thiết kế vòm đơn: Cung cấp độ ổn định đột phá, giảm thiểu nhiễu tiếng ồn xung quanh và cho phép phạm vi dọc lớn với tính năng quét lực thấp.
  • Điện tử thông minh được nâng cấp: Giảm tiếng ồn và nâng cao độ chính xác của phép đo, có khả năng đo chiều cao bước dưới 10nm.
  • Cấu hình phần cứng được tối ưu hóa: Giảm 40% thời gian thu thập dữ liệu, cải thiện hiệu quả đo.
  • Phần mềm đồng bộ Vision64 64-bit: Tăng tốc độ xử lý dữ liệu, tăng tốc độ phân tích dữ liệu lên gấp 10 lần.
  • Giao diện người dùng trực quan: Phần mềm Vision64 cung cấp giao diện đơn giản, thân thiện với người dùng để thiết lập và phân tích dễ dàng hơn.
  • Hệ thống căn chỉnh mẹo tự động: Đơn giản hóa các thay đổi đầu dò với cụm đầu dò tự căn chỉnh, giảm rủi ro trong quá trình chuyển đổi.
  • Một loạt các mô hình đầu dò: Cung cấp nhiều kích thước và hình dạng đầu dò khác nhau, đảm bảo khả năng tương thích với hầu hết mọi ứng dụng.
  • Thiết kế cảm biến đơn: Cung cấp các phép đo lực thấp với phạm vi quét rộng trên một mặt phẳng duy nhất.
  • Kiểm tra thông lượng cao: Đảm bảo kiểm tra nhanh chóng, nhiều mẫu để đo màng mỏng chính xác với độ lặp lại vượt trội.

Các thông số kỹ thuật

Công nghệ đo lườngCông nghệ định hình đầu dò
Chức năng đo lườngĐo hồ sơ bề mặt 2D
Đo lường 3D tùy chọn/
Chế độ xem mẫuĐộ phóng đại có thể lựa chọn, FOV từ 1 đến 4mm
Cảm biến đầu dòCảm biến quán tính thấp (LIS3)
Áp suất thăm dòSử dụng cảm biến LIS3: 1 đến 15mg
Lực thấp (Tùy chọn)Sử dụng cảm biến lực thấp N-Lite: 0,03 đến 15mg
Tùy chọn đầu dòPhạm vi lựa chọn bán kính cong đầu dò: 50nm đến 25μm;
Đầu tip tỷ lệ chiều cao trên đường kính (HAR): 10μm * 2μm và 200μm * 20μm;
Tiền boa tùy chỉnh có sẵn theo yêu cầu.
Giai đoạn X / Y mẫuBản dịch XY thủ công: 100mm (4 inch)
Bản dịch XY có động cơ: 150mm (6 inch)
Giai đoạn quay mẫuThủ công, xoay 360 °;
Có động cơ: xoay 360 °;
Hệ thống máy tínhBộ xử lý dòng đa lõi 64-bit, Windows* 7.0; Màn hình phẳng 23 inch tùy chọn
Phần mềmPhần mềm vận hành và phân tích Vision64;
Phần mềm đo ứng suất: Độ võng công xôn;
Phần mềm khâu: Phần mềm chụp ảnh quét 3D
Thiết bị giảm rungGiảm xóc có sẵn
Phạm vi độ dài quét55mm (2 inch)
Điểm dữ liệu mỗi lần quétLên đến 120.000 điểm dữ liệu
Độ dày mẫu tối đa50mm (2 inch)
Kích thước wafer tối đa200mm (8 inch)
Khả năng tái tạo chiều cao bước<4A1σ trên bước 1μm
Phạm vi dọc1mm (0,039 inch)
Độ phân giải dọcTối đa 1A (ở phạm vi dọc 6,55μm)
Đầu vào Voltage100 - 240 VAC, 50 - 60Hz
Phạm vi nhiệt độPhạm vi hoạt động 20 đến 25 ° C (68 đến 77 ° F)
Phạm vi độ ẩm≤80%, không ngưng tụ
Kích thước và trọng lượng hệ thốngRộng 455mm x 550mm Sâu x Cao 370mm
(179in. W x 22.6in. D x 14.5in. H);
34 kg (75 lbs);
Tệp đính kèm: 550mm L x 585mm W x 445mm H (216in. L x 23in. W x 175in. H);
217 kg (48 lbs)

Các trường hợp ứng dụng

  1. Thử nghiệm màng mỏng – Đảm bảo năng suất cao:
    Trong sản xuất chất bán dẫn, thiết bị bước giúp theo dõi độ đồng nhất lắng đọng và khắc, ứng suất màng mỏng và độ dày màng mỏng ITO. Khả năng tái tạo cao của nó đảm bảo phép đo chính xác, tối ưu hóa quá trình khắc và lắng đọng để có năng suất tốt hơn.
  2. Kiểm tra độ nhám bề mặt – Đảm bảo hiệu suất:
    Lý tưởng để đánh giá độ nhám bề mặt trong các thành phần chính xác trong các ngành công nghiệp như ô tô, hàng không vũ trụ và thiết bị y tế. Ví dụ, nó đo độ nhám của lớp phủ cấy ghép chỉnh hình để đảm bảo chất lượng và độ bám dính của sản phẩm.
  3. Phân tích đường dây lưới điện mặt trời - Giảm chi phí sản xuất:
    Hoàn hảo để đo kích thước của các đường lưới bạc dẫn điện trên các tấm pin mặt trời. Thiết bị bước đảm bảo rằng việc sử dụng bạc được tối ưu hóa để dẫn điện tốt hơn, góp phần tiết kiệm chi phí trong sản xuất bảng điều khiển năng lượng mặt trời.
  4. Công nghệ vi lỏng – Phát hiện thiết kế và hiệu suất:
    Được sử dụng trong MEMS và công nghệ vi lỏng để kiểm tra chất lượng. Chức năng đo NLite lực thấp cho phép phát hiện chính xác các bước thẳng đứng và độ nhám trên vật liệu cảm quang, đảm bảo độ chính xác và hiệu suất thiết kế.

Cho dù bạn đang tìm kiếm máy CNC hiệu suất cao hay máy thủ công đáng tin cậy, chúng tôi đều cung cấp các giải pháp phù hợp để đáp ứng nhu cầu cụ thể của bạn.
Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để thảo luận về yêu cầu của bạn và nhận lời khuyên của chuyên gia. Hãy để chúng tôi giúp bạn tối ưu hóa quy trình sản xuất của mình!

Lợi ích của chúng ta

Được hỗ trợ bởi hơn 25 năm kinh nghiệm kỹ thuật, đội ngũ của chúng tôi cung cấp các dịch vụ toàn diện — từ thiết kế khuôn tùy chỉnh và gia công chính xác đến sản xuất quy mô đầy đủ — được hỗ trợ bởi hệ thống đảm bảo chất lượng mạnh mẽ và dịch vụ khách hàng chủ động. Được chứng nhận theo ISO9001, ISO14001 và IATF 16949, chúng tôi không ngừng phấn đấu để đạt được sự xuất sắc về chất lượng, sự đổi mới và sự hài lòng của khách hàng.

Độ chính xác dung sai lên đến ±0,002mm

Lựa chọn nguyên liệu chính hãng 1 miếng tương đương 5 miếng

Xử lý hàng loạt và tùy chỉnh dựa trên bản vẽ, lấy mẫu miễn phí.

Phạm vi ứng dụng

Sự lựa chọn ưu tiên trong các ngành công nghiệp khác nhau.

Câu hỏi thường gặp